技術(shù)編號(hào):5826628
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種測(cè)量裝置,更具體的說(shuō),是涉及一種直拉單晶爐雙CCD 測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)。背景技術(shù)直拉單晶制造法(Czochralski, CZ法)是把原料多硅晶塊放入石英坩堝 中,在單晶爐中加熱融化,再將一根直徑只有10mm的棒狀晶種(籽晶)浸入熔 液中(圖l)。在合適的溫度下,熔液中的硅原子會(huì)順著晶種的硅原子排列結(jié)構(gòu) 在固液交界面上形成規(guī)則的結(jié)晶,成為單晶體。把晶種微微的旋轉(zhuǎn)向上提升, 熔液中的硅原子會(huì)在前面形成的單晶體上繼續(xù)結(jié)晶,并延續(xù)其規(guī)則的原子排列 結(jié)...
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