技術編號：5833623
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種加速度計并具體地涉及一種至少部分用硅制成的加速度計。如附附圖說明圖1所示的常規(guī)石英和硅加速度計具有大塊加工過的(溫式蝕刻的)石英或者硅結構，該結構沿直線變細以形成鉸鏈1，并且在該結構的一側上具有成擺錘狀的校驗塊2。該結構通常以具有兩個固定電容極板3的夾層形狀來實施，其中，電容極板3位于可移動校驗塊2的每一側上，校驗塊2鉸接在支座4的1上，電容極板3安裝在支座4上。對于在圖1中A方向上的加速度，校驗塊2繞著鉸鏈1弧形偏轉，其偏轉量與加速度成正比...
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