技術(shù)編號：5834182
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種斐索型光干涉測量裝置，特別是一種用于透鏡凸凹球面面形質(zhì)量 檢驗的光學透射球面檢測裝置。 背景技術(shù)現(xiàn)有光學加工行業(yè)對透鏡凸凹球面面形質(zhì)量的檢驗通常是采用樣板法，即通過不 同的光學樣板與對應(yīng)的被測凸凹球面接觸，再用肉眼觀察由于面形偏差出現(xiàn)的不同光 圈，來對球面面形質(zhì)量進行判斷。檢測時， 一個曲率半徑需要凸凹一對樣板，當樣板 面與被檢球面接觸后，被檢球面與樣板面之間如出現(xiàn)空氣間隙就會形成等厚條紋，它 反映的是被檢球面相對于樣板的光圈和局部光圈，然...
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