技術(shù)編號(hào)：5834794
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，屬于真空計(jì)量。背景技術(shù)在文獻(xiàn)“恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置的設(shè)計(jì)，《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)》，2007年第5期，第442頁 446頁”中，介紹了一種采用恒壓法校準(zhǔn)正壓漏孔的方法，該方法為將正壓漏孔流出的示漏氣體直接引入恒壓法正壓漏孔校準(zhǔn)裝置的變?nèi)菔抑?，改變活塞的位移使得變?nèi)菔业娜莘e增加而保證變?nèi)菔覂?nèi)壓力不變的原理，得到正壓漏孔的校準(zhǔn)。 這種方法的不足之處在于校準(zhǔn)時(shí)，校準(zhǔn)裝置復(fù)雜，校準(zhǔn)裝置需要抽氣系統(tǒng)、校準(zhǔn)系統(tǒng)、測(cè)控系統(tǒng)，校準(zhǔn)裝置技術(shù)含量高、價(jià)格昂貴，對(duì)研...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。