技術(shù)編號：5836233
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種多層納米膜隧穿式陀螺儀的檢測裝置，屬航空飛行 器的測量儀器儀表零部件的。背景技術(shù)微型機械電子式陀螺儀是二十世紀九十年代發(fā)展起來的高新技術(shù)產(chǎn) 品，主要用于航空航天飛行器的姿態(tài)測量和功能控制，是軍用、民用飛 行器必不可少的最重要的關(guān)鍵器件之一， 一直受到世界航空航天科技領(lǐng) 域的高度重視。目前，微型機械陀螺儀常用的檢測方式是電容式和壓阻式，壓阻式 是基于高摻雜硅的壓阻效應(yīng)原理實現(xiàn)的，高摻雜硅形成的壓敏器件對溫 度有較強的依賴性，其由壓敏器件組成的電...
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