技術編號：5848083
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及便攜式氣體微流量校準裝置，屬于測量，用于微小流量真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計的實驗室、現場和在線校準測試。背景技術泄漏檢測技術在航天、表面、微電子、太陽能、光電子等科研生產中具有重要的意義，隨著科技進步與發(fā)展，需要對真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計進行現場或在線校準測試，這樣使校準條件與使用條件基本相同，不僅提高了泄漏檢測的精度，而且避免了因為停止工作系統送往實驗室校準的經濟損失和時間浪費，因此在科研、生產制造中提出了在線氣體微流量校準測試的...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。