技術(shù)編號：5865844
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的涉及對晶片探測機器中的探針的清潔。更特定來說，本發(fā)明涉及一種用于清潔探針的觸點的系統(tǒng)及一種用于在探測機器中安裝用于探針的清潔板的方法。背景技術(shù)近年來，對探針的清潔已受到關(guān)注，尤其是在半導(dǎo)體(IC)制作的領(lǐng)域中。在常規(guī)半導(dǎo)體制作中，晶片在被切割成個別芯片之前通過也稱為探針卡的探針來測試以評價其上的半導(dǎo)體芯片的功能是否為正常的。在測試期間，所述探針的多個探測針或探測接針物理接觸受測試晶片上的測試墊以測量形成于所述晶片上的半導(dǎo)體裝置的電性質(zhì)。為在晶片探測...
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