技術(shù)編號：5872859
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種傳感器，尤其是一種薄膜磁阻傳感器，具體地說是一種用于磁場 中電流、位置、移動角度，角速度等量檢測的傳感器。背景技術(shù)薄膜磁阻傳感器廣泛應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲(計算機硬盤，MRAM)、電流測量、位置測量、 物體的移動速度、角度及角速度等測量領(lǐng)域。 薄膜磁阻傳感器有多層膜結(jié)構(gòu)及自旋閥結(jié)構(gòu)。所述薄膜磁阻傳感器的多層膜結(jié)構(gòu) 包括磁性層和非磁性層，它們交替的沉積在襯底上。所述薄膜磁阻傳感器的自旋閥結(jié)構(gòu)包 括非磁性釘扎層(其材料包括MnIr或MnPt)，磁性被釘扎...
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