技術(shù)編號：5873238
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，特別涉及一種。 背景技術(shù)陀螺儀是一種能夠精確地確定運動物體的方位的儀器，是現(xiàn)代航空、航海、航天和國防工業(yè)中廣泛使用的一種慣性導(dǎo)航儀器。陀螺儀的發(fā)展對一個國家的工業(yè)、國防和其它高科技的發(fā)展具有十分重要的戰(zhàn)略意義。傳統(tǒng)的陀螺儀主要是指機械式的慣性陀螺儀，機械式的慣性陀螺儀由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜，因此對工藝結(jié)構(gòu)的要求很高，所以其精度受到了很多方面的制約?，F(xiàn)有的一種微型振動式雙軸感測陀螺儀，如圖1所示，包括一基座54，于基座M中心設(shè)有一中心軸55，于中...
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