技術編號：5880178
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種在掃描電子顯微鏡中，對絕緣材料表面荷電的測量和評價方法。目前在掃描電鏡中采用的消除非導電樣品表面荷電效應的主要方法有1、樣品表面的導電處理在非導電樣品表面噴鍍一層金屬膜(Au，Ag，Pd等)，或碳膜。在入射電子的輻照下，連續(xù)的導電膜使樣品與地相連，從而避免了電荷在絕緣材料表面因積累而充電。然而，導電膜對樣品的成像及微區(qū)元素分析均可能造成一些不利影響。例如，噴鍍的導電膜可能會掩蓋樣品表面的某些真實細節(jié)，形成贗像，還給成分分析帶來誤差。此外，導電...
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