技術(shù)編號：5892862
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種測量物體上形成的薄膜厚度的技術(shù)，測量物體的光譜反射系數(shù)的技術(shù)，以及檢測物體上異物的技術(shù)。背景技術(shù) 作為測量物體表面上形成的薄薄膜厚度的方法，常規(guī)采用的是橢圓偏光法或反射系數(shù)光譜學(xué)，或不涉及橢圓偏光法的被稱作白光干涉測量法的方法(在下文中，這兩種方法稱為“白光干涉測量法等”)。一般地說，橢圓偏光法允許對薄的薄膜進(jìn)行高精度的薄膜厚度測量；而與橢圓偏光法相比的測量，白光干涉測量法等允許對較厚的薄膜或多層薄膜進(jìn)行測量。日本專利申請公開公報(bào)第61-18...
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