技術(shù)編號：5921054
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種探針卡檢測裝置，尤指一種自動(dòng)檢測探針卡的接腳位置是否正確的裝置。背景技術(shù)圖6所示為習(xí)用的探針卡檢測裝置，在檢測時(shí)可利用治具將探針卡定位在平臺(tái)90 上，此平臺(tái)90上具有模擬晶圓各個(gè)接腳墊的位置標(biāo)示，藉由平臺(tái)90上方的顯微鏡觀測器91 觀測探針卡的接腳位置是否符合各個(gè)接腳墊的位置，此時(shí)顯微鏡觀測器91所觀測到的影像傳輸至電腦裝置92，并由顯示器93顯示所觀測到的影像，檢測者若由顯示器93觀測出探針卡的接腳位置與接腳墊的標(biāo)示有誤，便將探針卡由平...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。