技術(shù)編號:5922179
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種用于氣體取樣的吸氣劑裝置[0001]本實用新型涉及對真空環(huán)境的氣氛進行非在線氣氛分析技術(shù),尤其涉及一種利用吸附劑的吸附作用對氣氛進行采集封裝后,再通過質(zhì)譜系統(tǒng)加溫手段使吸附的氣體重新釋放,以進行分析、明確氣氛種類的用于氣體取樣的吸氣劑裝置。背景技術(shù)[0002]真空系統(tǒng)中的各種氣氛對裝置的性能以及真空器件的性能影響很大。為了分析氣氛對裝置性能的各種影響,一般對于玻璃、金屬殼體的真空器件,通過附加特殊開孔裝置, 將分析對象連接到高真空的質(zhì)譜系統(tǒng)上進行開孔取...
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