技術(shù)編號：5940983
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種微型慣性傳感器件的芯核建模方法及其芯核庫，屬于微機電系統(tǒng)的設計領域。是針對慣性微機電系統(tǒng)以及典型靜電微執(zhí)行器和靜電檢測微傳感器的計算機輔助設計。背景技術(shù)基于MEMS技術(shù)的慣性傳感器件，如微加速度計、微陀螺以及微慣性測量組合等是MEMS器件研究的重要類型?；贛EMS技術(shù)的微慣性傳感器件是融電路與微機械結(jié)構(gòu)為一體的系統(tǒng)，對其整體行為(系統(tǒng)級行為)的建模與仿真分析是其計算機輔助設計的重點與難點?；诳芍赜眯竞?Intellectual Prope...
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