技術(shù)編號：5941556
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對具有透射光的區(qū)域的測定對象的透射率進(jìn)行測定的透射率測定裝置和透射率測定方法。背景技術(shù)在液晶面板等電子部件的制造エ序中，為了通過削減掩模數(shù)量來實現(xiàn)低成本化，使用在現(xiàn)有的單色圖案中追加至少ー層半透射膜圖案的所謂的多色調(diào)光掩模(參照日本特開2009-258250號公報(以下記為專利文獻(xiàn)I))。在控制這種半透射膜圖案的透射率吋，對多色調(diào)光掩模的品質(zhì)進(jìn)行管理是很重要的。因此，在多色調(diào)光掩模的品質(zhì)管理中，利用與實際構(gòu)圖的半透射膜相同的成分制作基準(zhǔn)掩模，測定...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。