技術(shù)編號：5952485
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及過程流體壓力測量領(lǐng)域，并且更具體地，涉及用于單晶過程流體壓力傳感器的熱診斷。背景技術(shù)壓力傳感器在許多工業(yè)應(yīng)用中用于測量壓力。一種類型的壓力傳感器被稱為可偏轉(zhuǎn)隔膜壓力傳感器。在這些壓力傳感器中，壓力直接地或通過不可壓縮的填充流體施加到可偏轉(zhuǎn)隔膜。諸如電容板之類的電極連接到可偏轉(zhuǎn)隔膜，使得隔膜板的運(yùn)動(dòng)改變諸如電容之類的電特性，電特性可以被測量并且與壓力有關(guān)?；诳善D(zhuǎn)隔膜的壓力傳感器用在差壓、絕對壓力和表壓力傳感器中。壓力傳感器經(jīng)常工作在惡劣的環(huán)...
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