技術(shù)編號(hào)：5952601
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微機(jī)械電子，具體涉及一種硅基四梁結(jié)構(gòu)石英諧振加速度傳感器芯片。背景技術(shù)目前，高精度、高分辨率的數(shù)字化加速度測量方法已經(jīng)得到越來越廣泛的發(fā)展，在中高精度的高速數(shù)字導(dǎo)航系統(tǒng)、重力測量學(xué)、巡航導(dǎo)彈、自主水下導(dǎo)航等方面有廣泛的應(yīng)用前景。此類加速度計(jì)輸出的是頻率信號(hào)，沒有數(shù)模轉(zhuǎn)換帶來的精度損失，能夠與高精度數(shù)字測量系統(tǒng)相結(jié)合。目前常用的采用微機(jī)電系統(tǒng)加工的傳感器主要分為壓阻式和電容式。壓·阻式傳感器通過具有壓阻效應(yīng)的電阻和具有一定結(jié)構(gòu)的梁-質(zhì)量塊來感應(yīng)加速...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。