技術(shù)編號：5952781
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光學(xué)顯微測量技術(shù)，主要涉及一種用于微結(jié)構(gòu)光學(xué)兀件、微結(jié)構(gòu)機(jī)械元件、集成電路元件中三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺(tái)階、微溝槽線寬、深度及表面形狀測量的超精密非接觸測量裝置。背景技術(shù)共焦點(diǎn)掃描測量是微光學(xué)、微機(jī)械、微電子領(lǐng)域中測量三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺(tái)階、微溝槽線寬、深度及表面形狀的重要技術(shù)手段之一，其基本思想是通過引入針孔探測器抑制雜散光，并產(chǎn)生了軸向?qū)游瞿芰?，但傳統(tǒng)共焦技術(shù)一直受到傳統(tǒng)透鏡成像數(shù)值孔徑小于I的原理局限。雙通照明共焦測量由C. J. R. Shepp...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。