技術(shù)編號(hào)：5963889
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種減小電子激勵(lì)脫附(Electron stimulated desorption, ESD)中性粒子誤差的極高真空測(cè)量方法，特別是采用具有能量分析器結(jié)構(gòu)四極質(zhì)譜計(jì)實(shí)現(xiàn)超高/ 極高真空系統(tǒng)的真空度測(cè)量方法，屬于測(cè)量領(lǐng)域。背景技術(shù)熱陰極電離規(guī)的柵極表面ESD效應(yīng)會(huì)產(chǎn)生ESD離子和ESD中性粒子，ESD離子與氣相離子具有能量差。文獻(xiàn)“極高真空技術(shù)的發(fā)展，《宇航計(jì)測(cè)技術(shù)》第29卷、2009年第5 期、第71頁(yè) 76頁(yè)”，介紹了多種有效分離ESD離子，減...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。