技術(shù)編號(hào)：5968218
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)和傳感，特別涉及一種基于共振隧穿位移敏感特性的微機(jī)械力傳感器及其制造方法。背景技術(shù) 近年來，利用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制作的微機(jī)械傳感器特別是壓力傳感器、加速度計(jì)、陀螺等，以其體積小、成本低、易于集成和批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，在軍事、汽車、航天、醫(yī)療等領(lǐng)域獲得廣泛的應(yīng)用。在微重力測量、傾角測量以及航空航天等領(lǐng)域，由于傳感器的輸出信號(hào)比較微弱，若要大幅度提高傳感器測量準(zhǔn)確度，一方面應(yīng)不斷改善測試電路，另一方面還需要從原理上對(duì)傳感器本身進(jìn)行改進(jìn)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。