技術(shù)編號：5999119
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及導(dǎo)輪表面輪廓檢測，更具體地說，涉及一種導(dǎo)輪輪廓采集裝直O(jiān)背景技術(shù)切割硅塊的開方機(jī)和切割硅片的切片機(jī)上均設(shè)有導(dǎo)輪。每個導(dǎo)輪的表面布滿了 V 形槽，主要用于固定鋼線來切割硅塊或硅片。由于在機(jī)器運(yùn)行過程中，鋼線與導(dǎo)輪會產(chǎn)生摩擦，久而久之，導(dǎo)輪的V形槽會被鋼線損壞，導(dǎo)致無法精確地固定鋼線。目前，對導(dǎo)輪的輪廓檢測，主要運(yùn)用馬爾輪廓儀，是通過探頭描點后虛擬來完成的。馬爾輪廓儀體型較大，而且探頭受臟污后，對測量精確度的影響很大，所以只能大致地測出導(dǎo)輪表面的...
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