技術(shù)編號(hào)：6013696
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種測試裝置，且特別是有關(guān)于一種薄膜探針測試裝置。 背景技術(shù)在集成電路(Integrated Circuits5IC)的制作過程中，于其制程的不同階段皆會(huì)進(jìn)行產(chǎn)品的測試步驟，并同時(shí)利用精密的分析儀器在整個(gè)制程中進(jìn)行有關(guān)于質(zhì)量管理的各項(xiàng)檢驗(yàn)，藉以確保制程合格率及芯片質(zhì)量能夠達(dá)到最佳水平，并檢測集成電路在制造過程中所發(fā)生的瑕疵。然后，找出造成產(chǎn)品產(chǎn)生瑕疵的原因，以進(jìn)一步地確保產(chǎn)品質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)，達(dá)到提升制程合格率的目的。因此，在集成電路的制造過程中...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。