技術(shù)編號(hào)：6017492
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對(duì)半導(dǎo)體檢測(cè)工具的穩(wěn)定性進(jìn)行測(cè)試的方法，具體而言，涉及。背景技術(shù)隨著集成電路工藝的發(fā)展和晶圓硅片材料尺寸的不斷變大，工廠對(duì)晶圓邊緣的缺陷情況越來越注重。利用CV300R檢測(cè)機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓邊緣進(jìn)行缺陷檢測(cè)是一種快速有效的工藝步驟品質(zhì)監(jiān)控方法。因此，保證檢測(cè)機(jī)臺(tái)自身穩(wěn)定性和精確性顯得至關(guān)重要。目前CV300R采用的自身檢測(cè)方法是通過使用與機(jī)臺(tái)匹配的標(biāo)準(zhǔn)片，該標(biāo)準(zhǔn)片的正面、側(cè)面和背面均包含一定數(shù)目的顆粒，并且在晶圓表面是無法移動(dòng)的。機(jī)臺(tái)通過日常檢測(cè)獲得三個(gè)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。