技術(shù)編號(hào):6023966
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。通過(guò)評(píng)估成對(duì)表面之間產(chǎn)生的干涉圖案,能以光學(xué)方法測(cè)出試樣的平直度與厚度變化。表面平直度與一參照表面相比較,厚度變化在試樣的兩表面之間相比較。成對(duì)表面中至少一個(gè)表面以不垂直入射角受照射的掠入射干涉儀,可增強(qiáng)鏡面反射率并調(diào)節(jié)測(cè)量靈敏度。背景技術(shù)薄透射試樣的干涉測(cè)量有一些特殊問(wèn)題,因其相對(duì)的表面都能參與形成多個(gè)干涉圖案,例如可在各相對(duì)表面與公共參照表面之間以及在相對(duì)表面本身之間形成干涉圖案。各干涉圖案包含試樣信息,但當(dāng)干涉圖案相互迭加時(shí),信息就被遮蔽了。在共同轉(zhuǎn)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。