技術(shù)編號:6027373
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光學(xué),特別涉及一種寬帶偏振光譜儀和光學(xué)測量系統(tǒng)。背景技術(shù)一般來說,光學(xué)測量技術(shù)中的一個關(guān)鍵環(huán)節(jié)是將探測光束聚焦到樣品上。目前通常有兩種方法。一種方法是將系統(tǒng)中的最后一個聚焦透鏡與其它元件分開,通過僅僅調(diào)整這個聚焦透鏡來將探測光束聚焦到樣品上。例如,如圖1所示,通過對最后一個聚焦透鏡進行上下移動來實現(xiàn)聚焦。另一種方法是通過對整個光學(xué)測量系統(tǒng)進行調(diào)整來將探測光束聚焦到樣品上。例如,通過對整個光學(xué)系統(tǒng)進行上下移動來實現(xiàn)聚焦(例如,參見美國專利N0.57...
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