技術(shù)編號(hào)：6032008
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及到一種測量方法，其中半導(dǎo)體器件的電路或電路元件被運(yùn)行并從電路或電路元件讀出其輸出，本發(fā)明還涉及到一種利用此測量方法來檢查象素部分工作是否正常的檢查方法。更確切地說，本發(fā)明涉及到一種非接觸型的檢查方法以及一種采用此非接觸型檢查方法的非接觸型檢查裝置。本發(fā)明還涉及到一種制造半導(dǎo)體器件的方法，它包括采用此檢查方法的檢查步驟，并涉及到一種用此制造方法制造的半導(dǎo)體器件。而且，本發(fā)明涉及到一種制造元件襯底的方法，它包括采用此檢查方法的檢查步驟，并涉及到用此制...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。