技術編號：6032945
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及壓力傳感器和壓力測定裝置。特別是涉及通過檢測導入的壓力造成薄膜片的變形，來檢測壓力的壓力傳感器和它的制造方法。還涉及關于使用此壓力傳感器的壓力測定裝置。然后在膜片5的外面作用壓力P1(例如基準壓力)，通過壓力導入部位6和導壓通路7導入的壓力P2作用在膜片5內(nèi)表面上的話，此壓力差P2-P1會造成膜片5的變形。此變形引起膜片5和摻雜區(qū)域3之間的距離改變，進而引起膜片5和摻雜區(qū)域3之間的靜電容量變化，此電容量變化反映壓力的變化，其結果利用摻雜區(qū)域和膜片...
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