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      傳感芯片及其制備方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:6043320

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      本發(fā)明公開了一種基于面發(fā)射激光器和金屬陣列結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振傳感的高靈敏度便攜式傳感芯片的制作和使用方法,屬于光電子器件與傳感。首先在面發(fā)射激光器的出光端面生長一層介質(zhì)層用于隔離,再在該隔離層端面采用微納加工技術(shù),制作出可用于生物傳感的金屬陣列結(jié)構(gòu),最后通過微流控技術(shù)將PDMS(聚二甲基硅氧烷)制作的微流通道與芯片集成,實現(xiàn)芯片的傳感封裝,以進行傳感檢測。金屬陣列結(jié)構(gòu)表面的折射率變化影響面發(fā)射激光器出射波長的強度。將待測樣品通入微流通道,測試出射光強度...
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