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      一種加速度計中的z軸結構及三軸加速度計的制作方法技術資料下載

      技術編號:6043392

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      本發(fā)明提供了一種加速度計中的Z軸結構及三軸加速度計,包括位于X軸方向上的第一彈性梁以及位于Y軸方向上的第二彈性梁,其中,第二彈性梁的兩端連接在基板的錨點上,第一彈性梁的兩端連接質量塊,所述第一彈性梁偏離質量塊X軸方向的中線;還包括將質量塊連接起來的橫梁、縱梁;還設置有連接兩條橫梁的加強梁,其中,兩個慣性測量模塊中的第二彈性梁相對于加強梁對稱分布。本發(fā)明的三軸加速度計,平面內的某一軸(X軸、Y軸)的運動不會受到結構偏心特性的影響,使得X軸、Y軸的運動均是線運...
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