技術編號：6055182
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型公開了一種用于檢測銅金屬蒸氣濃度的多電極微型傳感器，其下而上包括放電陰極，所述放電陰極包括金屬放電針陣列，所述放電陰極接地，且所述放電陰極通過在金屬放電針尖端局部小區(qū)域內產生強電場從而場致發(fā)射電子，實現(xiàn)電極間被測氣體分子電離；第一絕緣支撐，用于隔絕放電陰極和提取電極；提取電極，所述提取電極連接直流電源，提取被測氣體通過電離、碰撞、擴散后產生的正離子流，實現(xiàn)電子和正離子流的分離；第二絕緣支撐，用于隔絕提取電極和收集電極；收集電極，所述收集電極連接直...
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