技術編號：6062306
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型揭示了一種功能區(qū)具有粗糙度的半導體氣體傳感器，包括基底；設置在基底上的信號感測電極，信號感測電極包括兩個導電電極以及電性連接兩個導電電極的功能層；設置在基底上的加熱電極，加熱電極與信號感測電極彼此絕緣；其中，基底位于兩個導電電極之間區(qū)域的表面粗糙度大于基底上的剩余區(qū)域。本實用新型提供的半導體氣體傳感器，通過在導電電極之間區(qū)域的基底上增加粗糙度，在后續(xù)功能層的制作中，氣敏材料可以與基底之間形成更多的空隙，便于待檢測氣體的通過，從而提升氣體傳感器的靈...
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