技術(shù)編號(hào)：6083370
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明為長度測(cè)量儀器。激光干涉測(cè)長儀器由于它的測(cè)量精度高，速度快，測(cè)量范圍大，適用性廣而得到迅速的發(fā)展和應(yīng)用。以激光干涉技術(shù)做為長度測(cè)量的方法目前主要有兩類，一類是用單頻穩(wěn)頻激光器的單頻激光干涉系統(tǒng)，一類是用雙頻激光器的雙頻激光干涉系統(tǒng)。單頻激光干涉儀的工作原理如下其常用的邁克爾遜干涉光路見圖1。從激光器(1)發(fā)出頻率為f0的光束經(jīng)析光鏡(2)分成兩路。一路射向參考鏡(3)，一路射向測(cè)量鏡(4)，兩路光束經(jīng)反射后在D處會(huì)合，形成固定不動(dòng)的干涉條紋。測(cè)量鏡(...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。