技術(shù)編號(hào)：6086621
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種外差干涉儀的信號(hào)處理新方法，即相位和相位整數(shù)測量法。已有技術(shù)的外差干涉儀(包括雙頻激光干涉儀)系統(tǒng)以其信噪比高，抗干擾能力強(qiáng)，易于實(shí)現(xiàn)高分辨率，測量速度快等特點(diǎn)，在科研和生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用。已有的外差干涉儀信號(hào)處理方法中有一種是清華大學(xué)光學(xué)儀器教研組在科學(xué)基金項(xiàng)目“光學(xué)探針測量表面粗糙度”采用的相位測量技術(shù)。即通過測量測量信號(hào)的相位相對(duì)于參考信號(hào)的相位變化，從而獲得被測物理量的變化。被測物理量的大小與相位差的關(guān)系為L＝(φ/4π)λ。這種信號(hào)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。