技術(shù)編號：6099161
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及電氣測量技術(shù)，并且特別涉及為孤立的和/或遠(yuǎn)程表面或結(jié)構(gòu)(例如浮動平板離子監(jiān)視系統(tǒng)的離子收集平板單元)提供電壓測量和預(yù)充電的電氣測量方法和裝置。 背景技術(shù) 浮動平板離子監(jiān)視系統(tǒng)一般用于測量半導(dǎo)體制造工業(yè)中所用室內(nèi)空氣離子化系統(tǒng)的有效性和效率，從而減少或消除制造過程中電荷靈敏半導(dǎo)體或LCD(液晶器件)上的電荷積累。眾所周知，如果不能控制或消除電荷敏感半導(dǎo)體元件(金屬氧化物半導(dǎo)體門列陣、數(shù)字存儲器或邏輯單元或利用TFT器件(薄膜晶體管)的LCD器件)上...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。