技術(shù)編號：6105485
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及測量儀，特指一種光柵尺測量儀。背景技術(shù)微機(jī)電技術(shù)的發(fā)展，對精密定位測量提出了越來越高的要求，而在精密定位測量系統(tǒng)中必須有高精度的計(jì)量反饋單元。在現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)生活中，人們在測量比較細(xì)小的物體時(shí)，通常使用的測量器具為游標(biāo)卡尺或螺旋測量儀，其測量精度通常為0.05mm或0.01mm，當(dāng)需要更加精確的測量物業(yè)時(shí)，需要更加精密的測量器具，而光柵測量儀是通常使用的一種測量比較精確的設(shè)備。目前的光柵測量儀多為卡尺臺(tái)式的，其通過正交的可滑動(dòng)導(dǎo)軌來使工作臺(tái)在一平面...
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