技術(shù)編號：6109779
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。壓力/真空變送器是已知的。這種裝置典型地連接到壓力或真空源；產(chǎn)生根據(jù)壓力或真空變化的電特征；并提供變化的電特征的電表現(xiàn)，以便操作者或者過程的其它部分了解該壓力或真空。背景技術(shù) 高純度壓力或真空變送器是普通真空或壓力傳感器的相對小的子集。這些裝置尤其適于暴露于極度精密和/或非常潔凈的過程。這些過程的類型是，從壓力傳感器脫落的顆粒或者甚至是來自壓力傳感器的脫氣會對整個(gè)生產(chǎn)過程線產(chǎn)生有害的影響。這種應(yīng)用的一個(gè)實(shí)例是半導(dǎo)體的加工。真空變送器用于高純度應(yīng)用，所述應(yīng)用...
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