技術(shù)編號：6110094
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明主要涉及化學(xué)和/或生化傳感器，特別是涉及聲波化學(xué)和/或生化傳感器。背景技術(shù) 表面聲波傳感器可用于各種各樣的傳感應(yīng)用中，并且由于其對表面負載的高靈敏度因而通常能提供高度靈敏的檢測機制，以及由于其具有本征的高Q因子因而具有低噪聲。表面聲波器件通常利用光刻技術(shù)與設(shè)置在壓電材料上的梳狀叉指換能器相結(jié)合來制造。發(fā)明概述本發(fā)明涉及聲波化學(xué)和/或生化傳感器、系統(tǒng)和方法。在一個說明性的實施方式中，提供了一種化學(xué)傳感器，其包括沿聲波路徑具有吸收層的表面聲波器件。所述吸...
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