技術(shù)編號：6110404
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。用干涉儀對包括部件組件的不透明部件進行兩側(cè)測量涉及單獨地測量兩側(cè)；并且將單獨測量的結(jié)果彼此關(guān)聯(lián)起來以便于這兩側(cè)的比較。部件參數(shù)比較包括三維形狀、輪廓、平坦性、平行性和厚度。背景技術(shù) 用常規(guī)干涉儀很難實現(xiàn)不透明部件的相反側(cè)面的測量，特別是其目的是單獨測量兩側(cè)以確定各側(cè)面的平坦性以及彼此相關(guān)地測量兩側(cè)以確定平行性和厚度。例如，可以使用單獨的干涉儀對兩側(cè)進行單獨測量以確定平坦性，但各測量是與其它不相關(guān)的相對測量。包括鏡子組合的干涉儀已用于對兩側(cè)同時進行測量以確定...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。