技術(shù)編號：6111295
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種電容式微機械加速度計，特別是一種雙軸電容式微機械加速度計，屬于微機電系統(tǒng)MEMS中的微機械傳感器領(lǐng)域，它作為微慣性器件廣泛應(yīng)用于汽車電子、航空航天、武器裝備等領(lǐng)域。背景技術(shù) MEMS正處于發(fā)展時期，它的技術(shù)和市場都尚未成熟，但其孕育的廣闊發(fā)展前景、巨大的社會、經(jīng)濟效益是世人共知的，微機械加速度計是其中最成功的代表。微機械加速度計的研究始于20世紀70年代初，并在80年代形成單軸微機械加速度計產(chǎn)品，90年代末出現(xiàn)了多軸的微機械加速度計，市場上最...
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