技術(shù)編號(hào)：6113119
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微波復(fù)介電常數(shù)的測量裝置，特別是涉及一種厚度在微米量級(jí)的介質(zhì)薄膜之微波復(fù)介電常數(shù)的測量裝置。背景技術(shù) 薄膜化、集成化是射頻微波器件的發(fā)展趨勢。精確測量材料的微波復(fù)介電常數(shù)是精確設(shè)計(jì)微波器件的關(guān)鍵之一，迄今為止，雖然對(duì)于塊狀材料微波復(fù)介電常數(shù)的測量已早有國家標(biāo)準(zhǔn)可循(GB5597-85等)，但對(duì)于厚度在微米量級(jí)的薄膜材料，其微波復(fù)介電常數(shù)的測量仍是一個(gè)未解決的難題。復(fù)介電常數(shù)定義為ε％＝ε0·εr＝ε0·(εr′-jεr″)＝ε0·εr′(1-...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。