技術(shù)編號：6114093
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)于一種檢測系統(tǒng)與方法，且特別有關(guān)于一種。背景技術(shù) 光電及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所使用的化學(xué)物質(zhì)種類甚多，且部分深具危險性和有害性，但卻可能因意外而發(fā)生氣體泄漏，進(jìn)而對晶片制造生產(chǎn)與從業(yè)人員健康造成傷害。為了避免危害性氣體泄漏對晶片制造所產(chǎn)生的傷害，光電及半導(dǎo)體廠皆大量使用氣體監(jiān)測器。目前常用的氣體傳感器，可分為觸媒燃燒型氣體傳感器、半導(dǎo)體吸附型氣體傳感器、場效晶體管型氣體傳感器、電化學(xué)式氣體傳感器等等。然而，使用大量的氣體傳感器固然可以監(jiān)控氣體泄漏的發(fā)生，但...
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