技術(shù)編號：6116941
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用光學(xué)原理來檢測集成電路針腳的好壞、彎折點(diǎn)及高度的方法以及檢測儀器。隨著集成電路(IC)產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，集成電路(IC)的品管作業(yè)也日顯重要，為了提供高質(zhì)量的集成電路元件，如何大量地且快速地實(shí)行集成電路元件的檢測已經(jīng)成為一重要的課題。以往檢測集成電路針腳的良否、彎折點(diǎn)及高度等時，是利用投影裝置并對所得的影像作視覺上的處理而實(shí)現(xiàn)的，但此種處理方式效能甚低，對于集成電路元件的大批量生產(chǎn)化不適用。本發(fā)明的目的是提供一種檢測速度快的立體空間光學(xué)式集成...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。