技術(shù)編號：6121175
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種用于大量程表面形貌測量的二維位移傳感器及應(yīng)用的大量程表面形 貌測量裝置，屬于測量裝置。技術(shù)背景在目前廣泛使用的接觸式表面形貌測量儀器中使用的位移傳感器多為傳統(tǒng)的一維位移傳 感器，它僅能測量垂直方向上的位移，不能探測到觸針在水平方向上所遇到的阻力，在測量 表面形貌時存在著一定的局限性。這個局限性主要體現(xiàn)在在大量程表面形貌測量中，這種 一維位移傳感器的測量觸針遇到陡峭的輪廓表面時會由于水平方向的阻力太大而不能順利劃 過輪廓表面，所以它不能測量...
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