技術(shù)編號(hào)：6121198
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明關(guān)于一種聚酰亞胺的溶解速度評估方法、聚酰亞胺的制造方法以及使用上述方法得到的聚酰亞胺。背景技術(shù) 因聚酰亞胺具有優(yōu)良的耐熱性、機(jī)械特性，且容易形成膜，以及可平坦化表面等優(yōu)點(diǎn)，故而被廣泛使用為豐導(dǎo)體元件的表面保護(hù)膜、層間絕緣膜等。將該聚酰亞胺使用為表面保護(hù)膜、層間絕緣膜等的情形時(shí)，通孔等的形成工序主要是通過使用正型感光性樹脂的蝕刻工序來進(jìn)行。這里，聚酰亞胺的溶解速度(蝕刻速度)是用于控制蝕刻工序中除去聚酰亞胺的部分的尺寸的重要特性。再自動(dòng)化快速發(fā)展的半導(dǎo)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。