技術(shù)編號(hào):6122245
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及,特別涉及適用于LSI芯片/封裝的微細(xì)領(lǐng)域的具有高靈敏度、高空間分辨率的電場(chǎng)/磁場(chǎng) 傳感器及它們的制造方法。背景技術(shù).專利文獻(xiàn)1 (日本專利文獻(xiàn)特開(kāi)昭59-166873號(hào)公報(bào))和專利文獻(xiàn)2 (日本專利文獻(xiàn)特開(kāi)平2-28574號(hào)公報(bào))公開(kāi)了用于檢測(cè)電場(chǎng)或磁場(chǎng)等物 理量的傳感器及檢測(cè)系統(tǒng)。圖1是表示利用光技術(shù)的現(xiàn)有的高空間分辨率電場(chǎng)傳感器的結(jié)構(gòu)的截 面圖,圖2是表示利用了圖1中的電場(chǎng)傳感器的檢測(cè)系統(tǒng)的一個(gè)例子的 圖。參照?qǐng)D1,電場(chǎng)傳感器905通過(guò)粘接...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。