技術(shù)編號(hào)：6124520
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及傳感，特別是一種對(duì)氣壓具有敏感效應(yīng)的摻雜碳膜/硅異質(zhì)結(jié)新材料，其具體屬于在拋光的(100)硅基片上用磁控濺射的方法制備的一種具有氣壓敏感效應(yīng)的碳/硅異質(zhì)結(jié)新材料。該異質(zhì)結(jié)材料的電阻隨氣壓的變化而明顯變化。背景技術(shù)氣壓傳感器是傳感技術(shù)應(yīng)用的重要方向之一，在許多生產(chǎn)、生活領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。氣壓傳感器的設(shè)計(jì)通常是先選擇(或制備)一種氣壓敏感材料，然后圍繞該氣壓敏感材料設(shè)計(jì)壓強(qiáng)傳感電容器。所選的氣壓敏感材料通常是一些易發(fā)生形變的高分子材料或金屬薄膜材料...
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