技術(shù)編號：6128303
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種通過壓電體層的振動而驅(qū)動形成于SOI基板的音叉式驅(qū)動部的角速度傳感器。背景技術(shù) 在數(shù)碼相機(jī)、數(shù)碼攝像機(jī)、便攜式電話、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)等信息設(shè)備中，搭載有加速度傳感器、角速度傳感器，其目的在于防止由于手抖動而導(dǎo)致的圖像模糊、檢測車輛的位置。其中，對于角速度傳感器，以壓電效應(yīng)檢測科里奧利力的方法已經(jīng)被廣泛普及。但是隨著模塊的復(fù)雜化、設(shè)備的小型化，迫切需要傳感器模塊的小型化和節(jié)能。其中，作為角速度傳感器模塊所使用的振子，為了有效利用現(xiàn)有的技術(shù)資源和節(jié)能...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。