技術(shù)編號：6130895
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種。技術(shù)背景采用金剛石等作為磨粒的修整輪被用于CMP工序中，用以保持由 聚氨基曱酸酯等構(gòu)成的拋光墊的粗糙度。為了提高品質(zhì)及性能的可靠 性，這些輪被標準化，由若千公司生產(chǎn)、銷售。 一般，基于輪表面上存 在的金剛石磨粒的總數(shù)以及經(jīng)一定期間的使用或環(huán)境實驗后殘留的金 剛石磨粒數(shù)目對金剛石修整輪進行評價。但是，金剛石修整輪的性能不 依賴于輪表面存在的磨粒的總數(shù)，而是依賴于對實際磨削作出貢獻的活 性磨粒數(shù)目。活性磨粒是CMP工序中，和CMP墊的表面實質(zhì)接...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。