技術(shù)編號(hào):6131046
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料、元件及其制備技術(shù),涉及一種材料/元件(傳 感器) 一體化溶液制備方法,具體涉。背景技術(shù)氣體傳感器已廣泛應(yīng)用于食品衛(wèi)生、環(huán)境監(jiān)測(cè)、公共安全、航空航天 等領(lǐng)域。在各種氣體傳感器中,金屬氧化物傳感器(氣敏元件)以其結(jié)構(gòu) 簡(jiǎn)單、價(jià)格低廉的特點(diǎn)而得到關(guān)注。敏感材料是控制氣敏元件性能最重要 的因素,而敏感性是氣敏材料的最基本和最重要的性能指標(biāo),它與氣敏材 料的微結(jié)構(gòu)密切相關(guān)。影響敏感性的微觀因素可以分為兩大類(1)幾何 結(jié)構(gòu)參數(shù)氣敏材料的晶粒尺寸...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。