技術(shù)編號：6131679
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一般來說，本發(fā)明涉及對氣體中污染物的檢測，更具體地說，本發(fā)明涉及利用通常稱為腔內(nèi)激光光譜學(ILS)的激光技術(shù)對于氣體分子、原子、原子團和/或離子的高靈敏度檢測。發(fā)明背景技術(shù) 眾所周知，在制備用于微電子工業(yè)的高質(zhì)量半導(dǎo)體材料(例如硅膜)的過程中，必須控制污染物的含量。而且人們也熟知，如果不能成功地控制污染物，由于所得到的產(chǎn)品通常無法用于其應(yīng)有的用途，結(jié)果導(dǎo)致重要資源的損失。一般來說，用于硅膜制造的原材料基本由氣體，通常稱之為“主體材料”(例如氮氣或氬氣)或...
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